공정 가스 여과

일상적인 유지보수 및 시스템 작동 중 신속한 가스 이동 및 분자 투명성을 위한 업계 최고의 금속 섬유 기술입니다.

완벽한 공정

반도체용 강력 공정 가스 여과

UHP 공정 가스 필터는 필터의 유해 불순물 배출 가능성 및 입자 방출 가능성 등 전통적인 방식의 공정 가스 필터링에서 발생하는 일반적인 문제를 제거하기 위해 설계가 되었습니다. Pall의 우수한 필터는 업계 최고의 금속 섬유 기술을 활용하여 일상적인 유지보수 및 시스템 장애 시 신속한 가스 이동 및 분자 투명성을 제공합니다. O-ringless Gaskleen® IV 및 V PTFE 멤브레인은 암모니아(NH3) 및 오존(O3) 적용 분야에서 사용할 때 표준 O링과의 비호환성으로 인해 발생하는 O링 변형 및 필터 바이패스 현상을 제거합니다.

 

용도:

 

  • 벌크 분배 시스템
  • POU(Point of Use)

 

이점:

 

  • 가스 관련 결함 감소
  • 다양한 가스를 필터링할 수 있도록 맞춤화된 맞춤형 배지
  • 업계 최고의 필터 품질
  • 가스 배출 및 입자 불순물 감소

 

Pall 공정 가스 여과 시스템은 중요한 반도체 UHP 가스 흐름에서의 입자 오염 물질을 제거합니다. Pall 전문가에게 문의하여 결함을 해결하고 수율을 높여 현장의 성능을 극대화하는 방법에 대해 자세히 알아보십시오. 

공정 효율성 개선에 대한 자세한 내용은 당사의 여과 전문가 팀에 문의하십시오.

 

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