공정 가스 정제

Pall의 공정 가스 정제 시스템은 웨이퍼에서 결함을 발생시키는 불순물을 제거합니다. 기체 또는 휘발성 불순물이라고도 알려진 분자 불순물은 결함을 일으키는 가장 큰 원인으로 알려져 있으며 Pall의 정제 솔루션을 사용하여 효과적으로 제거할 수 있습니다. 이러한 정제 장치는 반응성 물질 베드를 사용하여 수분, 산소, 이산화탄소, 일산화탄소, 탄화수소 및 금속 카보닐을 포함한 불순물을 제거합니다. 기존의 입자 필터링이 효과가 없는 영역의 가스 흐름에서 불순물이 배출됩니다. 당사의 재료는 공정 흐름에 금속 또는 기타 유해 오염 물질을 발생시키지 않고 자연 수준으로 오염 물질을 제거합니다. 모든 Pall 정제 장치 어셈블리에는 입자 제거를 위한 일체형 필터가 들어 있습니다.

용도:

• 불활성 가스
• 불활성 가스
• 비반응성 가스
• 수소화물 가스
• 과불화탄소(Perfluorocarbon) 및 부식성 가스.

이점:

• 향상된 공정 안정성
• 영역/공정 효율성 증대
• 결함 감소
• 기존 입자 필터에 대한 개조 감소
• 다양한 가스를 정제하는 맞춤형 배지
• 낮은 소유 비용

공정 가스 정제 시스템 및 재료는 입자 필터가 효과적이지 않은 영역에서도 불순물을 효과적으로 제거할 수 있습니다. Pall 전문가에게 문의하면 결함을 줄이고 수율을 높여 공정 가스 정제 시스템을 최적화하고 현장 성능을 극대화할 수 있습니다.