液晶のろ過
液晶材料からゲル状物質と粒子を除去し、歩留まりを改善
“LCFクリーン・チェンジ – LCBN”カプセルフィルターは、薄膜トランジスタディスプレイの製造において、液晶材料からゲル状物質と粒子を除去するよう特別に設計されています。独自構造と低圧力損失によって、ベントが容易で、液晶ODFプロセス中に欠陥を引き起こす気泡の発生を実質的に排除します。
このディスポーザブル・フィルターカプセルは、ODFプロセス中の気泡による欠陥を最小限に抑えられるように、液圧緩衝能力を考慮して設計されています。
フィルターは、溶出物を抑え、優れた化学適合性を提供するオールフッ素樹脂製です。従来のフィルターでは、気泡の発生や液晶表面に到達する可能性のある粒子の流出等、共通の問題や欠陥が生じます。
低アウトガスと広範な化学適合性を対応できるように設計されたｋのフィルターによって、ガス放出による欠陥を最小限に抑えます。ゲル状粒子はプロセス流路から除去され、使用材料は粒子汚染に対して高い透過性があります。
利点:
- 設備コスト（CoO）が抑えられる、ディスポーザブルフィルター
- 高い耐久性のフロロポリマー製
- アウトガスの低減とODF流路からの気泡除去
- 液晶歩留まりの向上と表面欠陥の低減
ポールのリソグラフィ用フィルターの技術は、製造工程を合理化し、ディスペンスシステムのダウンタイムを削減すると共にウエハー表面の欠陥を低減します。
詳しい情報や購入情報は、ポールのエキスパートにお問い合わせください。
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