低コストで高性能を実現
ポールのガスフィルターは太陽電池プロセスの高純度ガス流から有害な粒子汚染物質を除去します。
太陽電池製造プロセスに必要な高純度のガスを供給するためのガスフィルターを提供しています。CVDやその他のプロセスにおいて、ガスろ過が行われて、シリコンインゴットや太陽電池の欠陥を防ぎます。
“ガスクリーン”フィルターは低圧損で高流量を実現し、効果的な粒子除去を行います。
水分が混入するとガスと反応し、腐食や汚染物を発生させてしまいます。ガス流から粒子を除去し、分子による状汚染を防ぎます。
ポールのメタルファイバー膜技術により、通常メンテナンス時の高速ガス置換を可能にし、また分子状汚染物を除去し、システムのダウンタイムを削減します。
利点:
- ろ過するガスの多様性と厳しいプロセス条件に対応する特注メディア
- 低設備コスト（CoO）と環境に優しいパッケージング
- 316Lステンレス製電解研磨ハウジング
- アウトガスと不純物粒子の低減
- 粒子のろ過精度：3 nm
- 太陽電池製造の歩留まり向上と表面欠陥減少
ガスクリーン”フィルターは、太陽電池製造プロセスのガスから汚染粒子を除去します。ガスろ過システムについては当社までお問い合わせください。
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製造プロセスで使用される幅広い流体について、ろ過・分離・精製の技術を提供いたします。.