化学薬品

進化する半導体産業向けの製品と技術　　　　－品質とプロセスの改善、生産性の向上

ろ過・分離・精製技術で問題解決

汚染制御は、半導体デバイス製造において最も重要な課題です。可能な限り汚染物が少ない高純度化学薬品や混合薬液が多く使われています。最先端の半導体デバイス製造では、ナノレベルの汚染管理が求められています。

ポールの化学薬品向けろ過・精製製品は、長年、半導体および関連業界で培った経験をもとに開発・製造されたものです。半導体業界のお客様の用途に適した製品をお届けします。

フィルター性能の４つの特性、すなわち、除粒子性能、流量特性、清浄度、耐久性に注力して、これを実現します。この４つの特性が、用途の要件をどの程度満たすことができるかの判断基準となります。

マイクロエレクトロニクス産業の成長と多様化に伴い、新たな技術や市場が次々と台頭しています。この動向は、今後ますます加速するとみられています。

当社は、これらの新興市場の新たな用途向けに革新製品を提供してサポートいたします。

大流量で低圧力損失、サブppbレベルの金属抽出量、ろ過精度5nm等、シングルナノオーダーのろ過を実現しています。

膜材料技術で業界をリードするポールは、PTFE、ポリアリールスルホン、ナイロン、PVDF、ポリエチレン、ポリスルホンのフィルターメディアを開発し、様々な用途に最適なフィルターを提供してきました。高非対称ポリアリールスルホン製メンブレンの新製品は、微細ろ過精度でありながら大流量を実現し、コスト削減にも貢献しています。

高純度化学薬品向けエレクトロニクス・グレードフィルターは、厳格な品質管理のもとに製造されています。

ろ過製品の耐薬品性

以下の「ろ過製品耐薬品性ガイド」の適合性データは、一般的な参考資料としてのみご使用ください。

製品の耐薬品性は、数多くの要因に影響されるため、製品を実際の使用条件と同じ環境であらかじめ試験する必要があります。各化学薬品の製品安全データシート（MSDS）に記載された安全措置など、該当する安全対策をすべて確認してください。

各材料の一般的な耐性情報については、本ガイドを参照するとともに、様々な種類の流体に対する個別のハウジングガイドも参照してください。例えば、“PPメガプラスト”ハウジングは、水用途のみで、化学薬品用途には推奨しておりません。特定の用途に対する適合性については、当社までお問い合わせください。